方案介绍
半导体晶圆制造全流程中约40%的时间在进行晶圆的质量检测,然而当前AOI设备存在误判率高等问题,各厂家通常需要人工在显微镜下进行复判,既耗费人力,又严重影响产线的生产效率。
基于昇腾AI基础软硬件与埃克斯提供质检算法,半导体晶圆智能分析解决方案已与各种CIM/IT系统进行深度整合,形成完善的质检分析、溯源以及生产管控系统。采集到晶圆图片后,部署在边缘的Atlas 800 推理服务器可以实时进行缺陷分析,判断晶圆质量,同时将未识别图像回传至云端,云端的Atlas 800 训练服务器基于增量的未识别图片进行持续训练完成模型升级,新模型训练完成后可以直接对端侧模型进行更新,形成边云协同的闭环。
优势亮点
- 1. 图片复判效率高:5万片wafer每月的工厂,大约每秒中产生1000多张图像,基于该方案可实时对所有AOI图像进行复判
- 2. 高识别准确率:晶圆缺陷的识别、分类达到99%以上准确率
- 3. 大幅度降低员工工作量:员工工作量降低40%,同时大幅提升员工工作感知,投入更高阶工作
- 4. 质量控制闭环:及时记录详细的缺陷分类,快速对上游生产设备进行工艺参数闭环修正,实现质量控制闭环